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產(chǎn)品資料

SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器
產(chǎn)品型號(hào): -
產(chǎn)品展商: SUNX
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簡(jiǎn)單介紹

SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器 傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、 下方四個(gè)方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。 尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm, SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器


SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器  的詳細(xì)介紹

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因此,對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器,
可能會(huì)因光全被吸收而無(wú)法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段,即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。
實(shí)現(xiàn)0.5ms的*速反應(yīng)。兼顧*速反應(yīng)性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置檢測(cè)
利用反射光量檢測(cè)時(shí),反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,
通過(guò)反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。
因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
以往使用激光的激光式定位傳感器,

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激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過(guò)FOUP直射操作人員,十分危險(xiǎn)。
氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì),
吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。
檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)
晶圓間距 間距3mm以上時(shí),可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下
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